三氯化硼

三氯化硼 （BCl3)

包裝：采用44L、47L鋼瓶充裝，也可根據客戶需要分裝到4-10L的氣瓶中。 

用途：

1、高純三氯化硼主要用于（硅）半導體器件制造工藝中的擴散摻雜（在高溫下，經過分解生成硼雜質向硅中擴散，形成P型半導體）、離子注入（作為離子注入源，高能量作用下使硼原子離子化，產生硼離子束并注入硅形成P型淺結）、干法蝕刻（用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料的蝕刻）等過程；

2、可作為許多有機反應中的優良催化劑及醫藥工業的中間體。

理化性質: 

無色發煙液體或氣體（有毒、不燃），有強烈刺激性、酸性氣味，易潮解，在潮濕的空氣中可產生濃密白煙，在水中分解為鹽酸和硼酸,在醇中分解為鹽酸和硼酸酯, 如作溶媒, 不能使鹽與強酸產生離子作用。

注意事項：

1、嚴加密閉，操作場所應提供充分的局部排風和全面通風，并配備應急處理設備。操作人員須經過安全培訓，嚴格遵守操作規程。建議操作人員帶防毒面具，戴橡膠手套，并防止氣體泄漏到工作場的空氣中，避免與水接觸。搬運時要輕拿輕放或用合適的手推車來移動鋼瓶，一定不要拉，滾動，滑動或放倒鋼瓶，不要試圖抓住氣瓶的蓋來拎起它。氣瓶在使用的全過程中為固定狀態，用一個獨立的控制閥安全地從氣瓶內釋放氣體。一旦鋼瓶接好，應仔細，緩慢的打開閥門。如果使用者在操作氣瓶閥時有困難，需停止使用，并與供應商聯系。 不可將工具(如：扳手，螺絲刀，等)插入鋼瓶蓋內。否則會損壞閥門并引起泄漏。 使用可調節的扳手來打開過緊或生銹的鋼瓶蓋。不要用明火或其他臨近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。碳鋼、普通不銹鋼、Monel蒙乃爾合金(Ni-Fe-Cu)及銅可以在沒有潮氣的情況下使用。Ni-Mo-Cr及Ni-Ti-Cr合金(13.2-32%Ni合金)、鉑及金有很好的抗腐蝕性，可以在有潮氣的情況下使用。Kel-F或Teflon(聚四氟乙烯)、PVC（聚氯乙烯）可以作為墊圈材料。

2、儲存于陰涼與通風的安全庫房。遠離火種、熱源，庫溫最好保持在35℃以下（最高存儲溫度不可高于52℃）。鋼瓶應直立擺放，保持容器（閥門）密封完好并安裝鋼瓶蓋。應與其它化學品分開存放，儲區應備有泄漏應急處理設備。